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半導體線寬、套刻精度量測設(shè)備供應(yīng)商列表

2024/06/20
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半導體設(shè)備里,除了人盡皆知的光刻機,大家討論最多的設(shè)備恐怕就是測量與檢測設(shè)備了(Metrology and Inspection)這類設(shè)備的技術(shù)門檻非常高,有些種類甚至有小光刻機之稱,而且市場空間和利潤都十分可觀,所以目前半導體行業(yè)的投資人對這個領(lǐng)域也非常感興趣正好,和我合作的“復創(chuàng)芯”計劃在7月份有一個相關(guān)的行業(yè)大會。

具體信息參考以下鏈接:

2024 中國檢測技術(shù)與半導體應(yīng)用大會 ---暨半導體分析檢測儀器與設(shè)備發(fā)展論壇

所以,我也趁這個熱度,整理一下全球的相關(guān)設(shè)備供應(yīng)商數(shù)據(jù)。這次先列一下目前收集到的線寬(CD)量測和套刻精度量(Overlay)測設(shè)備的供應(yīng)商數(shù)據(jù)在CD量測設(shè)備中,OCD是光學(Optical)量測,CD-SEM是電子束量測以下收集到的公司中,有些公司的產(chǎn)品還處于研發(fā)階段;有些目前還沒有公開的,我就暫時不放到表格里了
麻煩大家在參考的同時,也幫忙確認一下,看看有沒有問題。謝謝了

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