根據(jù)芯思想和芯思想研究院的調(diào)研，截止2023年12月20日，中國(guó)內(nèi)地12英寸、8英寸和6英寸及以下的硅晶圓制造線(xiàn)共有210條（不含純MEMS生產(chǎn)線(xiàn)、化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)和光電子生產(chǎn)線(xiàn)）。

中國(guó)內(nèi)地共建有12英寸晶圓廠(chǎng)45座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)238萬(wàn)片，已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能211萬(wàn)片（其中外資裝機(jī)64萬(wàn)片），實(shí)際產(chǎn)量約在125-140萬(wàn)片之間；在建24座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)125萬(wàn)片（其中外資在建18萬(wàn)片）；規(guī)劃興建或改造13座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)57萬(wàn)片（其中外資規(guī)劃5萬(wàn)片）；全部產(chǎn)能合計(jì)420萬(wàn)片（其中外資產(chǎn)能77萬(wàn)片）。

中國(guó)內(nèi)地共建有8英寸晶圓廠(chǎng)34座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)168萬(wàn)片，已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能152萬(wàn)片（其中外資裝機(jī)35萬(wàn)片），實(shí)際產(chǎn)量約在140萬(wàn)片左右；在建5座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)20萬(wàn)片；規(guī)劃興建或改造11座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)32萬(wàn)片；全部產(chǎn)能合計(jì)220萬(wàn)片。

中國(guó)內(nèi)地共建有6英寸晶圓廠(chǎng)48座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)264萬(wàn)片，已經(jīng)裝機(jī)產(chǎn)能206萬(wàn)片，實(shí)際產(chǎn)量約在180萬(wàn)片左右；在建4座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)21萬(wàn)片；規(guī)劃興建或改造6座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)34萬(wàn)片；全部產(chǎn)能合計(jì)319萬(wàn)片。

中國(guó)內(nèi)地共建有5/4/3英寸晶圓廠(chǎng)63座，規(guī)劃產(chǎn)能合計(jì)730萬(wàn)片(按4英寸計(jì)算)。

目前，中國(guó)內(nèi)地建設(shè)12英寸晶圓制造生產(chǎn)線(xiàn)城市的有20個(gè)，已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名：無(wú)錫、北京、武漢、合肥、西安、上海位居前六位。

中國(guó)內(nèi)地建設(shè)8英寸晶圓制造生產(chǎn)線(xiàn)城市的有24個(gè)，已經(jīng)投產(chǎn)的12英寸裝機(jī)產(chǎn)能分布按城市排名：上海、天津、無(wú)錫、紹興、蘇州、杭州位居前六位。

本土12英寸晶圓制造裝機(jī)產(chǎn)能排名前五的公司（不考慮工藝水平，不包括存儲(chǔ)產(chǎn)能）：中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)、晶合集成、士蘭微、粵芯。